保有クリーンルーム

保有クリーンルーム

Clean Room

保有クリーンルーム

クリーンルーム 北館1F

クラスクラス10000
(ISO規格 Class7)
ルームサイズ【CR1】
W8.0m×D24.0m×H3m
建築面積:192m³
【CR2】
W7.0m×D13.4m×H2.9m
建築面積:93.8m³
間口【CR1】
W2.7m×H2.7m
【CR2】
W1.7m×H2.6m
フロア耐荷重1t/m²
ユーティリティ【CR1】
・生産電源
・生産冷却水
・生産排気(真空ポンプ用)
・D-Air
・N2(ボンベ供給)
【CR2】
・生産電源
・Air

クリーンルーム 南館1F

クラスクラス1000
(ISO規格 Class6)
ルームサイズW8.2m×D16.8m×H3m
建築面積:137.7m³
間口W2.0m×H2.7m
フロア耐荷重1t/m²
ユーティリティ・生産電源
・生産冷却水
・生産排気(真空ポンプ用)
・D-Air
・N2(ボンベ供給)

クリーンルーム S1工場

クラスクラス10000
(ISO規格 Class7)
ルームサイズW24.5m×D39.5m×H9.3m
建築面積:967.7m³
間口W5.4m×H4.9m
フロア耐荷重4t/m²
ユーティリティ・生産電源
・生産冷却水
・生産排気(真空ポンプ用)
・D-Air
・N2(ボンベ供給)
その他設備クレーン10t × 2基
クレーン下 6.5m