クリーンルーム　北館1F

クラス	クラス10000 (ISO規格 Class7)
ルームサイズ	【CR1】 W8.0ｍ×D24.0ｍ×Ｈ3ｍ 建築面積：192m³ 【CR2】 W7.0ｍ×D13.4ｍ×Ｈ2.9ｍ 建築面積：93.8m³
間口	【CR1】 W2.7ｍ×H2.7ｍ 【CR2】 W1.7ｍ×H2.6ｍ
フロア耐荷重	1ｔ/m²
ユーティリティ	【CR1】 ・生産電源 ・生産冷却水 ・生産排気(真空ポンプ用) ・D-Air ・N2(ボンベ供給) 【CR2】 ・生産電源 ・Air

クリーンルーム　南館1F

クラス	クラス1000 (ISO規格 Class6)
ルームサイズ	W8.2ｍ×D16.8ｍ×Ｈ3ｍ 建築面積：137.7m³
間口	W2.0ｍ×H2.7ｍ
フロア耐荷重	1ｔ/m²
ユーティリティ	・生産電源 ・生産冷却水 ・生産排気(真空ポンプ用) ・D-Air ・N2(ボンベ供給)

クリーンルーム　S1工場

クラス	クラス10000 (ISO規格 Class7)
ルームサイズ	W24.5ｍ×D39.5ｍ×Ｈ9.3ｍ 建築面積：967.7m³
間口	W5.4ｍ×H4.9ｍ
フロア耐荷重	4ｔ/m²
ユーティリティ	・生産電源 ・生産冷却水 ・生産排気(真空ポンプ用) ・D-Air ・N2(ボンベ供給)
その他設備	クレーン10t × 2基 クレーン下 6.5m